• 真空红外隧道炉

    专为钙钛矿等对气氛敏感的薄膜设计,采用红外快速升温与高真空环境相结合,实现精准温场控制,能大幅减少膜层缺陷,保障产品的高良率、高一致性,支持连续大规模生产。

    • 基材尺寸

      常规中试线尺寸

      节拍

      90s(可定制)

      温度控制

      升温腔升温时间:25S@80℃
      升温腔温度精度:±7℃@80℃ (升温时间和选择的红外管功率有关)

    • 腔体密封性

      泵停止,各腔体保压一分钟,压力增加量小于10Pa

      安全性

      整机密闭,有进风与排风通道

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