真空红外隧道炉
专为钙钛矿等对气氛敏感的薄膜设计，采用红外快速升温与高真空环境相结合，实现精准温场控制，能大幅减少膜层缺陷，保障产品的高良率、高一致性，支持连续大规模生产。
产品特点
-
智能工艺控制
集成化智能控制系统，实现温度、真空度与传输节拍的精确编程与联动控制，支持配方存储与调用，保障工艺高度重复性
-
红外快速均匀加热
采用红外辐射加热，升温快速均匀，腔体温度均匀性达±2℃至±5℃，确保薄膜结晶质量一致性好
-
高真空洁净环境
核心工艺腔体可在＜10Pa的高真空下运行，有效隔绝水氧，为钙钛矿等敏感材料提供无氧化热处理环境
-
四腔体连续设计
集成预热、红外升温、恒温与缓冲四腔体，支持90秒节拍（可定制）的连续式生产，专为GW级量产打造
-
高密封稳定保压
腔体密封性能优异，停泵后保压1分钟压升＜10Pa，确保工艺环境长期稳定可靠
-
安全洁净集成
整机密闭设计，内置进排风系统，保障设备安全运行与工艺区域洁净要求
产品型号
-
产品参数 基材尺寸 常规中试线尺寸
节拍
90s(可定制)
温度控制 升温腔升温时间：25S@80℃
升温腔温度精度：±7℃@80℃（升温时间和选择的红外管功率有关）
腔体密封性
泵停止，各腔体保压一分钟，压力增加量小于10Pa
安全性 整机密闭，有进风与排风通道
